制造厂商：Thermo Scientific

型号：ESCALAB XI+

性能指标：

能量分辨率：相对于Ag 3d5/2，半峰宽 ≤ 0.45  eV

灵敏度：在分辨率≤ 12 eV时，灵敏度 3 15000 cps/nA

元素检出限：atom 0.1%

REELS和UPS

原位冷热台：77 ~ 1000 K

快速成像

离子和团簇刻蚀

功能及应用范围

表面纳米级厚度元素成分表征(元素：Li~U)；元素化学态信息

元素以及化学态的定量分析

元素/化学态在线或面的分布成像

不同成分的深度分布信息

广泛应用于环境、地质、特种金属、纳米器件、半导体、能源电池、功能涂料、生物医药、航空航天等领域

联系人：梁建军 博士   Email：liangjj@lzb.ac.cn

图. XPS光电子能谱分析仪